精修離子束系統(tǒng)

GIB 精修離子束系統(tǒng)

用于掃描電鏡 / 雙束電鏡的氬離子束方案

Technoorg  Linda  精修離子束系統(tǒng)的低能氬離子槍（GIB） 適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧 化物表面層。 當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時(shí) ，其作用尤為明顯。有了集成離子槍 ，就可以在研究之前對樣品  進(jìn)行精修。 實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個(gè)重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后，對 TEM 樣品進(jìn)行最 終拋光和溫和的表面清潔。

可與掃描電鏡集成

帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連 接管輸出法蘭的尺寸與相應(yīng)的 SEM 端口尺寸相匹配。通  過線性傳輸系統(tǒng)提供的離子源流動(dòng)性，可實(shí)現(xiàn)理想的工作 距離（15-30 mm）。

低能量氬離子槍

低能量離子槍的直徑和長度均為  50mm。氬離子束的能 量范圍：100eV - 2kV。 2kV 時(shí)的最大束流為 70µA。離 子束為寬束，半最大全寬（FWHM）為 2mm。

半管支架

低能量離子槍安裝在半管支架中。